重生归来我誓登权力巅峰第290章 光刻胶研发取得重大进展

省里500亿半导体创新中心项目正式启动的第一周李一凡就召集了一次专门会议。

与会的除了市里各部门负责人还有中微公司和南大光电的技术团队。

“这个项目意义重大。

”李一凡环视会议室“省里把重点放在星城上是看中了我们在半导体领域的技术积累和产业基础。

现在的关键是如何把今晚的资金用在刀刃上。

” 陈启明领导接过话题：“根据省里的规划这500亿将分三年启动。

第一年200亿重点是基础设施建设和重点项目落地；第二年200亿重点技术攻关和产业培育；第三年100亿完善装备和产业升级。

” “我们市里的100亿配套资金一定要安排。

”李一凡说“要重点支持两个方向：一是南大光电的光刻胶项目二是中微公司的技术创新。

这两个领域都关系到产业安全。

” 正说着南大光电技术总监王立新递上一份最新的测试报告：“我们在对中微28nm光刻机项目的光刻胶研发上取得了重要进展。

最新一代产品在分辨率、感光性和稳定性等关键指标上都有突破。

” “详细讲述。

”李一凡立即产生了兴趣。

“主要是三项技术创新。

”王立新打开投影“一是配方优化提高了光刻胶的感光性能实现了28nm制程要求的精度；二是工艺密封将在PPB级别进行缓慢控制这对良率提升很关键；三是添加剂创新大幅提升了抗干扰能力。

” “第三点特别重要。

”中微公司董事长尹志绕表示“威廉姆斯团队正在推进28nm光刻机的研发他们特别关注芯片安全架构。

这种新型光刻胶的抗干扰特性恰好能够契合我们在安全防护方面的设计。

” 李一凡点点头：“这就是我们的优势。

光刻机和光刻胶两个团队能紧密配合良好创新。

这也是省里500亿投资的重点支持方向。

” “关于光刻胶项目的具体落地。

”市发改委主任刘向力说“南大光电计划投资50亿建设研发中心和生产基地我们已经在半导体产业园建设了200亩核心用地。

” “时间节点要和中微的细节匹配。

”李一凡说“威廉姆斯博士计划用两年时间完成28nm光刻机的研发和量产我们的光刻胶必须同步化。

” “完全能够满足。

”王立新说“我们的一期工程明年6月建成后月产能达到3吨。

这个规模完全可以满足中微前期的研发需求。

等他们进入量产阶段我们也能及时完成产能拓展。

” “产业配套也要同步规划。

”市招商局局长高制鹏说“目前已有十几家上下游企业表示要跟进。

包括前驱体材料、电子特气、靶材等都是光刻胶产业必需的配套。

初步提示这些项目总投资将超过100亿。

” 李一凡在白板上写下三个关键词：“技术好、产业定位、人才支撑。

现在重点说说具体的推进计划。

” “先说技术好。

”威廉姆斯博士说“我们28nm光刻机的研发分三个阶段：第一阶段是光学系统突破这是核心；第二阶段是整机集成需要配合光刻胶进行工艺优化；第三阶段是量产验证这就需要产业链的配合了。

” “工艺配合中微的节奏。

”王立新补充道“光刻胶的研发也分三步：首先完成基础配方确保28nm制造工艺的分辨率要求；然后进行优化均匀提高成膜性和稳定性；最后是良率提升这需要大量的数据实践。

” “这个思路很清晰。

”李一凡说“两个团队要紧密配合互相反馈。

得到了省里500亿的支持我们在技术创新上鼓舞信心但也要脚踏实地。

” 市科技局局长刘青松插话道：“为了支持和谐创新我们准备成立一个联合实验室。

由威廉姆斯博士和王总共同担任主任重点攻克关28nm制程的关键技术。

” “联合实验室很有必要。

”尹志绕说“特别是在芯片安全方面需要从光刻机、光刻胶两个层面同步设计。

这也是我们独特的优势。

” 正说完成后中微公司的技术团队带来了最新进展：“光学系统的初步设计已经关键指标达到预期。

下一步将进入样机测试阶段。

我们计划在明年二季度完成首台工程机的建造。

” 这一消息让会议室的气氛更加热烈。

工程机是量产前的关键一步如果能按期将为整个项目打下坚实的基础。

“人才团队怎么配置？”李一凡问道。

“目前两个团队加起来有280人。

”杨国强说“其中博士45人硕士138人。

但距离目标还有差距特别是娱乐人才方面。

我们正在进行全球范围内的招聘计划年底前把团队扩充到500人。

” “人才引进的重要性。

”李一凡强调“重点是三类人才：一是光学系统专家二是材料研发工程师三是工艺集成人才。

这些都是产业发展的关键。

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