所有人都默默点了点头。
“好为了不影响原定进度这段时间我们必须加班加点。
有人有困难或疑问现在可以提出来。
” 姜蕴宁缓缓直起身手背轻轻摩挲着下巴深呼吸一口气目光在每个人脸上停留片刻确认他们明白她的意思。
然后她轻轻拍了拍手“既然大家都没有异议从现在开始按照分工逐一检查各自负责的模块发现问题立即汇报。
” 虽然在场的工程师大多比姜蕴宁年长、资历也更深但是她站在那里沉稳的语气与严肃的面容让人不自觉地忽略了她的年纪与外表只把她当作真正的掌舵人。
孙卓越这时小心地举起手犹豫片刻才开口:“姜工我们按计划操作光刻机时有些关键模块的拆装和测试可能需要额外时间如果赶工可能会有风险。
” 孙卓越的顾虑并非多余。
光刻机内部模块极其复杂包含光学镜组、激光光源、真空泵、曝光对准系统等一旦在赶工时出现差错不仅可能让当前排查前功尽弃更可能引入新的风险。
比如工程师临时拆错一颗螺丝可能会导致光学对准偏移需要几天甚至几周重新校准。
姜蕴宁点点头“我理解你们注意安全和精度。
时间紧但不能牺牲质量出现异常立即上报。
另外若是需要协助请及时提出。
” 几人相互对视深吸一口气随后默默点头。
他们低头在记录本上勾画开始确认各自需要检查的模块。
“真空泵必须优先确认断电时它的稳定性最容易出问题。
”张新然低声提醒。
光刻机内的很多工艺都依赖在高真空或超洁净环境下进行。
一旦真空环境出现波动连锁反应会比其他模块更迅速、更致命——哪怕是极少量的颗粒或空气分子闯入也足以破坏光路稳定性污染晶圆表面直接导致产品报废。
因此真空泵的任何异常波动都是光刻机最为忌惮的隐患之一。
姜蕴宁轻轻颔首“对第一步优先检查真空系统。
确认泵体、阀门和缓冲电源有没有在断电时出现延迟。
” “还有光源系统”周新民接话“哪怕毫秒级波动都可能导致光束能量分布不均。
” 姜蕴宁盯着手中的资料图声音不高却格外清晰:“好从真空、光源、对准三个核心环节开始排查。
按顺序进行一步一步确认。
” 几名工程师同时点头开始翻阅记录逐项核对工具与测试设备。
两个小时后准备工作终于完成。
他们戴上手套、口罩围在光刻机周围小心翼翼地拆解机身。
偌大的洁净室内工具在金属表面发出轻微的敲击声和摩擦声显得格外清脆又紧张。
真空泵、光路系统、电源模块……每一个关键组件都被仔细检查。
姜蕴宁在旁仔细关注着每一步操作手中记录着关键数据时而皱眉低声与正在操作的工程师确认发现的异常与测量结果。
空气里弥漫着电子设备微微的臭氧味有些许的刺鼻。
银白色的光线在光刻机的金属机身上反射出冷冽的光芒映照在他们专注的面孔上。
接下来的整整一周工程师们几乎住在洁净室里。
洁净服、口罩、手套成为他们的日常三件套洁净室就是他们的工作与生活空间。
因为担心任何操作延误或无人看守可能会带来无法预料的风险尤其是涉及高真空、光源和对准等核心模块。
所以在光刻机排查关键故障的这段时间团队成员除了轮流短暂离开去食堂或补充必需品其余时间几乎全程守在机器旁形影不离。
这就是传说中先进设备调试时的“守机文化”。
洁净室外的世界被隔绝层流面板低声运转维持着空气洁净。
每一块拆下的模块都被小心放入防静电托盘每一组检测数据都被详细记录。
“检查密封和管路接口确认没有泄漏。
”姜蕴宁靠近目光扫过真空泵体表面。
“明白。
”孙卓越小心地旋开接口另一名同事递过微型压力计“读数稳定吗?” “暂时还在安全范围但比正常值略低。
”姜蕴宁眉头微蹙“动作小心些别碰到旁边的传感器线束。
” “收到。
” 这种高强度、封闭式的拆机与检测不仅考验着工程师的耐力更考验着团队的协作和心理承受力。
因为每一个微小的疏忽都可能带来不可逆的损失。
工程师们轮流操作、互相确认每一步都仔细复核、交叉确认确保不出差错——也正因此整体周期被进一步拉长比姜蕴宁预计的时间还长了三天。
第十天排查和修复完成后“旭日2号”进行空载测试。
空载测试是指在不放入晶圆的情况下运行光刻机的各个系统以验证其功能和稳定性。
通过这种方式可以提前发现潜在异常调整机械或电子参数从而避免再次造成高价值晶圆的损失。
直到主面板上的绿色灯常亮所有人提着的那股气终于散了。
有人捂着额头小声低呼:“苍天啊终于成了。
” 姜蕴宁检查所有参数确认一切正常之后抬头对大家说:“明天休息一天。
” “别别别再也不敢休息了。
”张新然夸张地叫唤“晚上睡一睡明天继续干活行不行?” 看向姜蕴宁的眼神充满了期望。
他现在听到“休息”两个字都害怕了。
这次放假五天实际休息三天不到然后被召唤回来狂补了十天高强度的班。
连着十天没回宿舍他都怀疑自己的宿舍得积灰了。
“对啊对啊别休息了今天早点下班回宿舍收拾收拾就行明天照常上班吧。
”其他人也纷纷附和。
那些原本没被紧急召回的人回来后也经历了整整一周的“生不如死”式高强度工作。
姜蕴宁看着强烈要求继续工作的团队这一次没有铁腕地强制休息。
因为让“旭日2号”恢复正常只是第一步接下来还需要进行改造以应对极端断电情况而这部分耗时将比此前的拆机检测更久。
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