周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前注视一块高纯度硅锭被送入切割台上。
硅片厂生产线还没有投产眼前的硅锭是从沪江运送过来用于试生产的 随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。
这些晶圆将被送往下一个车间进行打磨和抛光。
接下来就是光刻工序也是整个制造过程中最核心的环节。
姜明尚皱眉道:“前几道工序都没问题但光刻车间的良品率始终上不去。
我研究了几天始终没找到问题所在。
” 周博笑道:“万事开头难GK-1是第一台光刻机有问题很正常没问题才奇怪。
” 两人一边说着一边来到光刻车间。
车间中央横置着一台庞然大物——GK-1干式光刻机几名技术人员正围在操作台前。
“怎么回事又是图案粘连!”一名技术人员苦恼道。
“会不会是光刻胶有问题?” “不应该都是一样的调配流程在沪江好用到了粤州就出问题? 没道理呀!” “是呀真特么见鬼了!” “原来的流水线不是挺好吗一做成整机就出问题自找麻烦!”有人抱怨道。
“整机在沪江测试过也没问题呀!” “到底怎么回事呢?” 众人议论纷纷看到周博和姜明尚走过来立刻向二人打招呼。
“周总工姜总工!” 都是电子厂的老人还是习惯用以前的称呼。
姜明尚问道:“怎么样这次良品率多少?” “10片芯片只有1片能用其他全部出现图案粘连现象!” 10%! 这良品率实在有点可怜。
周博也皱起眉头。
光刻机在沪江时测试过的怎么到了粤州就水土不服? “给我看看!” 一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。
周博来到显微镜前将芯片放在物境前固定好看了起来。
镜头中本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹模糊成团。
这就是所谓图案粘连。
看完之后周博没有说话走到了光刻机的操作台前。
暗暗在脑海中发出指令。
“分析GK-1光刻机···” 【叮!】 【系统分析开始···】 【光刻机型号:GK-1】 【分析结果如下:】 【1.光源系统正常。
2.对准与调焦系统正常。
3.双工件台系统正常 4.掩模输运与定位系统正常···】 系统分析完毕光刻机一切正常。
周博叹了一口气心中也犯了难问题出在什么地方呢? 系统也不是万能的现在要靠自己定位问题了。
“大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。
姜明尚道:“每次都出现图案粘连我还是怀疑光刻胶有问题。
但是又查不出来!” 周博点点头。
现在他们所用的光刻胶是从鸡蛋清里提取出来的调配过程是周博经过多次实验确定下来的。
一年多来在电子厂车间产线上使用从来没出过问题。
之所以用鸡蛋清多少有点无奈光刻胶这东西虽然不起眼但技术含量可不低。
要从零开始批量制造也是相当麻烦所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。
想了想周博一时也难以确定问题所在只好道:“把流程重新走一遍吧!” “好!” 随即众人取出一块晶圆片放入光刻机中启动光刻工序。
光刻机内汞灯光源射出紫外光透过自制透镜组再透过掩膜版将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。
在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。
周博出神地注视着光刻机思维跟着工序流程快速思考。
是振动问题? 空气洁净度不够? 热胀冷缩? 脑海中不时蹦出一个个想法但又随即否定··· 半个小时后光刻工序完成几块芯片新鲜出炉。
随即拿到显微镜下一看还是图案粘连! 姜明尚苦笑:“真是活见鬼了!” 此时周博拿着一块芯片左右端详眼神渐渐明亮起来。
“姜工我觉得你的猜测是对的应该还是光刻胶的问题!” 周博语气笃定地说道。
“可是配置流程是完全相同呀!” “我知道流程一样但成分可能不一样。
” “你是说蛋清成分不一样?”姜明尚脸色表情有些古怪。
这也太扯了! 周博点点头笑道:“这粤州鸡和沪江鸡饮食不同生活环境也不同蛋清有差别很正常!” 众人听完这一番解释都有些哭笑不得。
“那应该怎么办从沪江运鸡蛋过来?” 这事想想就有点搞笑! “不必我有办法去弄一下草酸盐来!” 这章没有结束请点击下一页继续阅读!。
本文地址赤色军工刚建国你就要造航母第230章 鸡蛋清引发的良品率问题来源 http://www.bokoda.com
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